Cómo lograr una alineación precisa de la etapa de alineación XXY y la cámara CCD

- Jul 20, 2019-

Etapa de alineación XXY, también llamada etapa de alineación UVW y etapas XYθ (theta) están diseñadas para aplicaciones de alineación de alta precisión. Se mueve en un plano XY y gira alrededor del centro del plano XY. Los términos tabla de alineación o etapa de rotación XY a menudo se usan indistintamente con XYθ, etapa XY-theta o etapa UVW.

 

Disponible en 10 modelos, en tres grados de precisión de nivel G 2 μm, nivel B 5 μm, nivel P 10 μm respectivamente, estos modelos tienen recorridos lineales ± 5 mm. Además, las etapas XXY pueden girar alrededor del centro del plano XY hasta ± 5 grados a ± 2 grados, mientras que la carga horizontal de 10 kg a 100 kg.

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Aplicación de tecnología de alineación de precisión.

Amplia gama de aplicaciones en micro maquinaria, mecanizado de ultra precisión, nanotecnología y semiconductores.

 

Una tecnología de alineación de precisión

Motor y controlador, etapa de alineación de precisión de alta resolución, cámara CCD y tarjeta de adquisición de imágenes, software y control de algoritmos de procesamiento de imágenes.

Pacto más importante: etapa de alineación de precisión de alta resolución.

 

A continuación , presentaremos los pasos de movimiento de la etapa de alineación UVW / XXY en el sistema de alineación.

Paso 1: el robot sostiene la placa de vidrio superior por encima de la etapa de trabajo para que el objetivo de la placa de vidrio superior se encuentre dentro del campo de visión del CCD para determinar la posición del objetivo.

Paso 2: el robot sostiene la placa de vidrio inferior y evita que se coloque en la plataforma de trabajo de modo que el objetivo de la placa de vidrio inferior esté dentro del campo de visión del CCD para determinar la posición del objetivo.

Paso 3: de acuerdo con la diferencia de posición relativa entre el objetivo de la placa de vidrio inferior y el objetivo de la placa de vidrio superior, el algoritmo de procesamiento de imagen se utiliza para calcular la cantidad de movimiento (X, Y, Φ) de la etapa UVW / XXY para conducir el motor movimiento para hacer la placa de vidrio inferior y la placa superior. La placa de vidrio está alineada con precisión.

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Danos la información requerida, proporcionaremos la etapa de alineación de precisión correcta:

Los parámetros técnicos que necesita para precisión, ángulo, carga sugerida, etc.

 

Gigager invierte mucho esfuerzo en el diseño de la etapa de posicionamiento relacionada para crear una etapa de alineación de alta precisión:

Etapa de alineación de precisión de la serie XXY:

Etapa de alineación de precisión XXY5M-01:

Etapa motorizada de eje X de precisión serie GX:

Etapa motorizada del eje Z de precisión de la serie GZ

Etapa de elevación de cuña del eje Z de precisión serie GTZ:

Etapa motorizada del eje XY de precisión de la serie GXY:

Etapa motorizada del eje XYZ de precisión de la serie GXYZ:

Etapa motorizada de cuña del eje XYZ de precisión de la serie GTXYZ:

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